Newport用于晶圓和掩膜檢測的運動控制

MKS 提供了多種高性能的、適用于晶圓檢測工具和其他運動控制應用的空氣軸承位移臺 , 經驗豐富的 MKS/Newport 應用工程師與 OEM 客戶合作，為正在開發的半導體制造過程提供專門的自動化運動控制解決方案，下文描述這些系統中用于提高精度和動態性能的技術。

IDL 工業精密定位平臺是為高動態性能而開發的，其標準版本可在構建 XY 系統時加快響應速度。該平臺采用鋁結構，結合了機械軸承、直線電機、直線編碼器和集成電纜管理，以提供可靠和準確的定位精度。XY 堆疊的 IDL 運動平臺用于自動光學檢測系統的優勢是顯而易見的，有多種行程組合可選。
 

IDL 工業精密定位平臺

CeraMech 碳化硅陶瓷位移臺是一種高性價比 XY 位移臺，其采用陶瓷結構和機械軸承，無需使用空氣軸承導軌即可實現優異的性能。陶瓷平臺的剛性和穩定性是鋁合金平臺的 3 倍。MKS/Newport 開發了先進的制造技術來確保表面的平整度和穩定性，可以實現陶瓷位移臺高動態性能的掃描以及步進應用。

CeraMech XY 碳化硅陶瓷位移臺

HybrYX 混合空氣軸承 - 機械軸承XY位移臺，是一種成本相對較低、單平面、空氣軸承平臺， 非常適用于半導體晶圓或面板檢測系統，以及許多其他需要超低速度波動和動態跟蹤誤差（即任意時間點當前位置與理想或理論位置設定值之間的差值）的掃描應用。平臺的Z向、傾斜、俯仰、旋轉角度調節選項可以允許精調晶圓或面板，以用于復雜的XY運動。HybrYX 系統運行可靠且壽命長，非常適合于高占空比環境如晶圓檢測應用等。例如，HybrYX 300 是一款高性價比的混合滾珠軸承和空氣軸承平臺，針對晶圓片檢測優化，掃描速度高達1m/s, 速度穩定性小于 0.1%；超過 300mm 行程內的平面度為±250 nm，XY方向的定位精度為 ±250 nm。

HybrYX 混合空氣軸承 XY 位移臺 

DynamYX 系列位移臺具有商用產品中高的水平定位性能，專為 300 mm 晶圓加工和檢測應用而設計，大量使用陶瓷材料來提供良好的剛性結構穩定性，且產品設計很輕薄，適合用于OEM 應用。

DynamYX 系列位移臺

DynamYX 掩膜定位空氣軸承位移臺設計用于掩膜板的檢測和修復應用。DynamYX RS 級位移臺比傳統的開放式解決方案封裝要小得多，并且有一個全開的孔徑，可靈活地集成光學組件并易于維修服務。其前端采用一個剛性且穩定的陶瓷支架，以確保在掩膜檢測和/或修復過程中的高度穩定和清潔。

DynamYX 掩膜定位位移臺 

DynamYX 中DATUM系列位移臺也適用于晶圓片檢測，他們對晶圓的清潔度要求符合ISO 2級標準，掃描速度高達 1 m/s，同時滿足以下指標：動態立體 XYZ 抖動誤差 ±30 nm, 當晶圓直徑 300 mm 內平面度可達 ±150nm，XY 方向的定位精度達 ±100 nm。 
如果激光光源與工具分開放置，運動控制器件也用于控制光束傳輸，例如，MKS/Newport 的快速轉向鏡 (FSM) 使用反饋回路和電動鏡架來控制激光束的位置。在研發應用中，這可用于兩個獨立的氣浮平臺之間的光束穩定。在制造應用中，當激光源與工具相距較遠時，FSM可用于潛望鏡配置，光源上的反射鏡 ( 用于角度校正 ) 和工具上的反射鏡 ( 用于位置校正 ) 可以控制進入工具光束的所有維度。

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